環境のソリューションクリエーター日本化学機械製造株式会社 -NIKKAKI -が提供する環境設備機器のご紹介

日本化学機械製造の環境設備機器

溶剤リサイクル

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フッ酸回収装置

装置紹介
液晶ディスプレー製造プロセスや、半導体製造プロセスでは、洗浄剤としてフッ酸が多く使用され、使用後に純水洗浄される為、希薄なフッ酸排水が多量に発生します。従来、フッ酸排水の処理には、消石灰を用いた凝集沈殿方法が一般的に利用されて来ましたが、産業廃棄物として発生するスラッジの問題や、処理後の排水中のフッ素イオン濃度が規制値をクリアできない等の問題があります。 当社では、フッ酸排水を蒸留操作により、フッ酸を濃縮し再利用を図り、凝縮水は放流、又は工程で再利用するシステムを提案しています。
装置概要
フッ酸-水系は、最高共沸を形成する為、希薄フッ酸水溶液を蒸留した時蒸留塔頂より水 塔底より共沸成分(約フッ酸水溶液35WT%)まで濃縮したフッ酸水溶液を得る事ができます。装置の材質には、耐食性が要求される為、カーボンやテフロンを採用しています。
注記: 最高共沸化合物とは、純粋な両成分の沸点より高い共沸点をもつ化合物を言います。
気液平衡曲線(フッ酸ー水系)
脱水膜(MEK・IPA・アルコール類)フローシート
フローシート
脱水膜(MEK・IPA・アルコール類)フローシート