日本化学機械製造の環境設備機器

触媒式脱臭装置は、150～350℃の低温で完全燃焼できます。このため、窒素酸化物の発生が少なく、低NOX燃焼が可能です。
また、酸素濃度の低い排ガスでも燃焼できます。
ガス種類として、トルエン等のVOCをはじめ、アンモニア等の窒素化合物まであらゆるガスに対応できますが、原ガス中の混合物、臭気物質の種類によって処理不可能な物質や、触媒性能を低下させる物質もありますので、ご相談ください。

臭気ガスを加熱器により、酸化に必要な温度(約150～350℃)まで加熱します。加熱された臭気ガスは、触媒反応層に入り、触媒と接触することにより酸化反応し、分解、脱臭されます。浄化されたガスは、熱交換器（廃ガスの熱を回収、臭気ガスの予熱に利用）を通り、大気に放出されます。

・アンモニア除害装置　　　・VOC無害化

半導体製造工程ではアンモニア以外にも混酸も廃液として廃棄されます。
混合廃液からある無機酸のみを分離回収する技術も保有しております。
代表的な無機酸の回収事例を紹介いたします。

直接式脱臭装置は、臭気ガス成分の発火点以上に、処理温度を保持し、同時に一定以上の滞留時間を取ることによって、臭気成分を瞬時に酸化分解する方法です。

・VOC無害化